12月24日,據晶盛機電消息,12英寸單片式碳化硅外延生長設備已交付碳化硅(SiC)外延晶片生產商瀚天天成,其使用的12英寸襯底則由浙江晶瑞SuperSiC提供。此次研發(fā)的12英寸單片式SiC外延設備可兼容8、12英寸SiC外延生產。
晶盛機電12英寸單片式碳化硅外延生長設備交付
界面快報 · 來源:界面新聞
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